全自动光谱仪椭偏仪M300是一种全自动变角光谱仪椭偏仪和深紫外光谱椭偏仪,具备250-1100nm的光波长，并且具有全自动更改入射角的功效。全自动spectroscopic ellipsometer从深紫外到能见光再从近红外光.深紫外光波长椭偏仪特别适合精确测量纤薄薄膜薄厚，例如纳米技术薄膜薄厚，例如硅晶圆的薄膜薄厚，典型值在2nm以内。针对精确测量很多原材料的带隙，深紫外光谱椭偏仪也很重要。（请搜索联络孚光精仪企业 ）

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椭圆偏振技术性是由科学研究光线在样版表层反射面后偏振态变化和得到表层薄膜薄厚等相关信息的薄膜测量技术。

与反射面计或反射光谱技术不一样的是，光谱仪椭偏仪主要参数Psi 和Del并不是在普遍入射角下得到。根据更改入射角尺寸，可得到很多组数据信息，这个就十分有利于提升椭偏仪精确测量薄膜或样版表层的水平，因而变角椭偏仪作用远大于固定不动角椭偏仪。

更改椭偏仪入射角的办法主要有两种，一种是手动调节，一种是调节入射角，大家可以提供二种方式的椭偏仪。

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全自动光谱仪椭偏仪M300特点（请搜索联络孚光精仪企业 ）

便于组装，拆装与维护

*的光学系统

全自动更改入射角，入射角分辨率高达0.01度

大功率250-1100nm灯源适宜多种多样运用

选用阵型探测仪保证快速精确测量

精确测量薄膜膜堆的薄膜厚度折光率

适合于实或在线监控薄膜厚度折光率

具备完备的光学常数数据库系统

给予技术工程师方式，服务方式和用户模式三种应用方式

灵活多变的技术工程师方式适用于各种各样安装设置和电子光学实体模型精确测量

一键快速测量

自动式校准和复位

高精密试品自准直页面立即试品自准直，不用附加电子光学

高精密相对高度和歪斜调节

适宜不一样材料及不一样后试品基板硅片

2D和3D数据显示导出

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全自动光谱仪椭偏仪M300主要参数

光波长：250-1100nm

光波长屏幕分辨率：1nm

测量点尺寸：1-5mm可调式

入射角：10-90度可调式

入射角屏幕分辨率：0.01度

能品尺寸：达到300mm 孔径

能品薄厚：达到20mm

精确测量薄膜薄厚：0nm ---30um

精确测量时长：~1s/点

精密度：~0.25%

重复精度：